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URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述:URE-2000/35型紫外光刻機(jī),采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平;真空接觸自動(dòng)曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪  問(wèn)  量:6726

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類(lèi)微流控芯片系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子

 

產(chǎn)品名稱(chēng):URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo):
曝光面積:100mm×100mm
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
對(duì)準(zhǔn)精度:±0.8μm
大膠厚:300μm(SU8膠)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
汞燈功率:350W(直流)
掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn):
創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平;真空接觸自動(dòng)曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制;采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
 

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