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  • URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
    URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

    更新時(shí)間：2024-06-04

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    URE-2000/35型紫外光刻機(jī)，采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
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  • TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)
    TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

    更新時(shí)間：2024-06-04

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    TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)，照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈（德國(guó)歐司朗）; XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái); 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇
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  • DS-2000/14G型光刻機(jī)
    DS-2000/14G型光刻機(jī)

    更新時(shí)間：2024-06-04

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    DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明。
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